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与耗氦量持续降低的MRI设备不同，半导体行业氦耗呈上升趋势：有资料称到2035年该行业氦耗预计将增长五倍。这部分源于DUV和EUV半导体光刻机的发展，这些设备必须依赖氦气运行。与其他气体不同，氦气几乎不吸收EUV辐射，据我理解这使得EUV设备中难以替代氦气。